高精度檢測(cè)能力
菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240 配備微聚焦 X 射線管（焦點(diǎn)尺寸≤50μm）和可電動(dòng)切換的準(zhǔn)直器（最小測(cè)量點(diǎn)直徑 0.1mm），可精準(zhǔn)測(cè)量半導(dǎo)體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結(jié)構(gòu)115。其比例計(jì)數(shù)器探測(cè)器能實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率，配合菲希爾基本參數(shù)法，無(wú)需標(biāo)準(zhǔn)片即可完成高精度測(cè)量，鍍層厚度測(cè)量精度可達(dá)納米級(jí)（如 80nm 金鍍層的重復(fù)精度為 2.5nm）524。

智能化測(cè)量系統(tǒng)
儀器內(nèi)置 500 萬(wàn)像素彩色視頻顯微鏡，支持 38x-184x 光學(xué)變焦，可實(shí)時(shí)觀察樣品表面細(xì)節(jié)并標(biāo)記測(cè)量區(qū)域，定位精度達(dá) ±0.005mm59。通過(guò) WinFTM® 軟件可實(shí)現(xiàn)測(cè)量程序預(yù)設(shè)（最多 100 組）、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析及報(bào)告生成，滿足 ISO 9001 等質(zhì)量管理體系要求59。